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细粉加工设备(20-400目)

我公司自主研发的MTW欧版磨、LM立式磨等细粉加工设备,拥有多项国家专利,能够将石灰石、方解石、碳酸钙、重晶石、石膏、膨润土等物料研磨至20-400目,是您在电厂脱硫、煤粉制备、重钙加工等工业制粉领域的得力助手。

超细粉加工设备(400-3250目)

LUM超细立磨、MW环辊微粉磨吸收现代工业磨粉技术,专注于400-3250目范围内超细粉磨加工,细度可调可控,突破超细粉加工产能瓶颈,是超细粉加工领域粉磨装备的良好选择。

粗粉加工设备(0-3MM)

兼具磨粉机和破碎机性能优势,产量高、破碎比大、成品率高,在粗粉加工方面成绩斐然。

硅单晶滚磨的目的意义

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    2021年10月28日  开方的目的一切片工艺与设备滚磨:采用砂轮,将硅锭的外侧打磨成规则 滚磨设备:单晶切方滚磨机(金刚石砂轮)柱体的过 2、程。 开方:将大块的硅锭,切割成所需要的长方 体或者棱柱体。 开方设备:单晶切方滚磨机、(金刚石)带锯(金刚石)线锯等不同用途硅片的 滚磨与开方:经过直拉法生长出的硅锭子, 外形是不规则的圆柱体,外侧可能有晶棱出 现,头和尾部均有锥形端,因此在进行硅片 切割之前,需要对硅锭进行整形与分割,使 其达到硅片切 硅晶体滚磨与开方百度文库2025年2月7日  滚磨是将硅单晶棒的外径通过金刚石磨轮进行精细磨削,以获得所需直径的单晶棒料,并同时磨削出单晶棒的平边参考面或定位槽。 由于单晶炉制备的单晶棒外径表面并不完 晶圆制备工艺与设备全面解析2020年8月11日  滚磨机的工作原理是:把晶体固定在滚磨机上(从两端面顶紧),晶体绕自己的中轴线慢速旋转。 晶体的侧面有一个金刚砂磨头高速旋转,并左右移动,不断磨去晶体的外表皮。光伏晶体技术截断、滚磨和打磨技术 知乎2021年5月22日  硅单晶棒生长完成后,大多有棱线,表面不规则,外周成椭圆状,对后续工艺过程产生不同程度的影响,进而引进单晶棒滚磨工艺,去除了外周不规则的形状,且在滚磨过程 大尺寸硅单晶棒Notch槽滚磨工艺研究 道客巴巴滚磨与开方:经过直拉法生长出的硅锭子, 外形是不规则的圆柱体,外侧可能有晶棱 出现,头和尾部均有锥形端,因此在进行 硅片切割之前,需要对硅锭进行整形与分 割,使其达到硅片切 硅片加工滚磨开方讲课文档百度文库

  • 硅单晶滚磨的目的意义 食品机械设备网

    2020年12月25日  硅片化学机械抛光工艺流程加工流程: 单晶生长→切断→外径滚磨→平边或V型槽处理→切片 倒角→研磨腐蚀抛光→清洗→包装 切断:目的是切除单晶硅棒的头部、尾部 2023年4月4日  硅片研磨是为了去除在切片加工中,硅片表面因切割产生的表面/亚表面机械应力损伤层 (20~50μm)和各种金属离子等杂质污染的表面,并使硅片具有一定精度几何尺寸的平坦 郑州千磨谈:单晶硅的制备方法及硅片加工工艺 哔哩哔哩2021年12月11日  在无中心的直径研磨机上进行滚磨得到精确直径的单晶硅,并且通过严格的直径控制也可以减少晶圆翘曲和破碎。 研磨机上装有金刚砂轮(或金刚刀),可以自动调节进刀 晶圆的制备流程①截断直径滚磨丨半导体行业2021年10月28日  章 硅晶体的滚磨与开方 10 11磨削加工知识 12滚磨开方设备及工作原理 13滚磨开方的加工过程14滚磨开方后的表面的处理10简介滚磨和开方的目的,及所用设备 硅片用途决定的加工工序单晶硅的工艺单晶光伏硅片的工艺 铸锭多晶硅晶体滚磨与开方 renrendoc硅晶体滚磨与开方百度文库 滚磨和开方的目的,及所用设备硅片用途决定的加工工序晶圆单晶硅的工艺单晶光伏硅片的工艺铸锭多晶的工艺页,共79页。滚磨和开方的目的滚磨与开方:经过直拉法生 一篇文章带你了解半导体硅晶片知乎硅单晶滚磨的目的意义2021年12月11日  硅为集成电路制造中最重要的半导体材料,超过 90%的集成电路芯片都是在硅片上制作而成的,所以本文以硅片制备为例,说一说晶圆的制备流程。硅单晶抛光片的制备工艺流程比较复杂,加工工序较多,每道工序必须严格控制加工质量,才能得到满足集成电路工艺技术要求,而且质量合格的硅单晶 晶圆的制备流程①截断直径滚磨丨半导体行业

  • 硅晶体滚磨与开方ppt 80页 VIP 原创力文档

    2018年10月11日  金刚石毛刷 第1章 内容要求—作业 简述硅单晶进行滚磨的目的和所用设备。 根据磨粒的固定方式,磨削加工分为哪两类。 简述磨削加工的特点。 简述滚磨机的四大运动方式。 开方设备的发展方向是什么。 线锯开方的主要特点。 简述滚磨开方 滚磨和开方的目的,及所用设备 硅片用途决定的加工工序 晶圆单晶硅的工艺 单晶光伏硅片的工艺 铸锭多晶的工艺 页,共79页。 滚磨和开方的目的 滚磨与开方:经过直拉法生长出的硅锭子, 外形是不规则的圆柱体,外侧可能有晶棱出 现,头和尾部 硅晶体滚磨与开方百度文库2025年2月7日  滚磨是将硅单晶棒的外径通过金刚石磨轮进行精细磨削,以获得所需直径的单晶棒料,并同时磨削出单晶棒的平边参考面或定位槽。 由于单晶炉制备的单晶棒外径表面并不完美,直径也超出最终应用的硅片直径,因此需要通过滚磨来达到所需的尺寸精度。晶圆制备工艺与设备全面解析单晶生长→切断→外径滚磨→平边或V型槽处理→切片 倒角→研磨腐蚀抛光→清洗→包装 切断:目的是切除单晶硅棒的头部、尾部及超出客户规格的部分,将单晶硅棒分段成切片设备可以处理的长度,切取试片测量单晶硅棒的电阻率含氧量。单晶硅棒加工成单晶硅抛光硅片工艺流程百度文库2021年8月24日  一颗单晶硅棒是怎么变成单晶硅片的?今天的中环小课堂就为大家介绍半导体硅研磨片的工艺流程。 一般而言,加工半导体硅研磨片要经过如下步骤:切断—滚磨—粘棒—线切—去胶—切片清洗—倒角—研磨—磨片清洗。 切断 将单晶硅棒切成段,通过单晶本身ρ(电阻率)高低不同分割成不同长度 一颗硅棒是怎么变成硅片的?加工2020年12月28日  外径磨削:由于单晶硅棒的外径表面并不平整且直径也比最终抛光晶片所规定的直径规格大,通过外径滚磨可以获得较为精确的直径。平边或V型槽处理:指定向基准平面加工,用单晶硅捧上的特定结晶方向平边或V型槽。单晶硅片的制造技术 知乎专栏

  • 单晶硅片的制造技术简述 百家号

    2024年6月26日  目前硅单晶制备技术可使晶体径向参数均匀,体内微缺陷减少,01~03um大小的缺陷平均可以少于005个/cm2; 由于单晶硅棒的外径表面并 不平整且直径也比最终抛光晶片所规定的直径规格大,通过外径滚磨可以获得较为精确的 2025年2月9日  二、单晶硅片的制造 1单晶硅的制造 对于单晶硅的制造,学过材料学的人可能听说过拉单晶的说法。这就指的是单晶硅制造中使用提拉法,是熔体生长法的一种。 提拉法首先需要准备好所需的多晶硅原料和籽晶杆,其中原 半导体制造工艺讲解半导体器件制造工艺CSDN博客2019年2月26日  本发明属于单晶硅晶棒及硅片加工制造技术领域,具体涉及一种半导体单晶硅晶棒及硅片参考面的加工方法。背景技术对于半导体单晶硅晶棒和硅片而言,参考面是一项重要的外观指标,参考面有主参考面,副参考面之分。 一种半导体单晶硅晶棒及硅片参考面的加工方法与流 guipian zhibei 硅片制备 的单晶硅片的 工艺,、化学腐蚀、抛光,以及几何尺寸和表面质量检测等工序。 也称减薄腐蚀,目的是除去切磨后硅片表面的 损伤层和沾污层,改善表面质量和提高表面平整度。化学腐蚀法有篮式、桶式、旋转杆式和盒式 硅片制备 百度百科52 晶体切割 滚磨开方为晶体的深入切割奠定了基础。而晶体切割,就是利用内圆切片机或者线切割等专用设备将硅晶体切割成符合要求的薄片。同时器件生产用的硅单晶片,对其表面取向也有一定要求。知乎盐选 52 晶体切割2021年5月22日  理论前沿1000年9月01大尺寸硅单晶棒Notch槽滚磨工艺研究李涛中国电子科技集团公司第四十六研究所,天津3000摘要:随着半导体产业的不断发展,大尺寸(8英寸1英寸)硅单晶的需求也越来越大。与小尺寸(英寸6英寸)硅片不同,为了有效利用硅片,大尺寸硅片通常采用Notch槽作为参考面,这也增加 大尺寸硅单晶棒Notch槽滚磨工艺研究 道客巴巴

  • 硅片化学腐蚀抛光工艺与机械抛光工艺

    2014年11月29日  单晶生长→切断→外径滚磨→平边或V型槽处理→切片 倒角→研磨 腐蚀抛光→清洗→包装 切断:目的是切除单晶硅棒的头部、尾部及超出客户规格的部分,将单晶硅棒分段成切片设备可以处理的长度,切取试片测量单晶硅棒的电阻率含氧量。2018年1月1日  金刚石毛刷 第1章 内容要求—作业 简述硅单晶进行滚磨的目的和所用设备。 根据磨粒的固定方式,磨削加工分为哪两类。 简述磨削加工的特点。 简述滚磨机的四大运动方式。 开方设备的发展方向是什么。 线锯开方的主要特点。 简述滚磨开方 章 硅晶体的滚磨与开方ppt 80页 VIP 原创力文档2019年1月29日  单晶硅片加工工艺主要为: 切断→外径滚圆→切片→倒角→研磨→腐蚀、清洗等。 切断:是指在晶体生长完成后, 沿垂直与晶体生长的方向切去晶体硅头尾无用的部分,即头部的籽晶和放肩部分以及尾部的收尾部分。通常利用外圆切割机进行切割。 外圆切割机刀片边缘为金 半导体百科 单晶硅片加工工艺表面2021年12月11日  硅为集成电路制造中最重要的半导体材料,超过 90%的集成电路芯片都是在硅片上制作而成的,所以本文以硅片制备为例,说一说晶圆的制备流程。 硅单晶抛光片的制备工艺流程比较复杂,加工工序较多,每道工序必须严格控制加工质量,才能得到满足集成电路工艺技术要求,而且质量合格的硅单晶 晶圆的制备②磨定位面丨半导体行业1) IC单晶硅锭的加工 a: 侧面滚磨——滚磨机打磨 b: 制作参考面——滚磨机打磨 硅锭晶体定向 磨轮和硅锭安装 制作参考面 滚磨和开方的目的,及所用设备 硅片用途决定的加工工序 晶圆单晶硅的工艺 单晶光伏硅片的工艺 铸锭多晶的工艺 CH1硅片加工滚磨开方01百度文库硅片加工滚磨开方现在二页,总共七十九页。10 简介 滚磨和开方的目的,及所用设备 硅片用途决定的加工工序 晶圆单晶硅的工艺 单晶光伏硅片的工艺 铸锭多晶的工艺现在三页,总共七十九页。滚磨和开方的目的 滚磨与开方:经过直拉法生长出的硅锭子, 外形硅片加工滚磨开方讲课文档百度文库

  • 硅片制造技术过程、成本及难点单晶

    2021年6月8日  直径滚磨: 由于在拉单晶的过程中,对于单晶硅棒的直径控制较难,所以为了得到标准直径的硅棒,比如6寸,8寸,12寸等等。 在拉单晶后会将硅锭直径滚磨,滚磨后的硅棒表面光滑,并且在尺寸误差上更小。2014年4月21日  单晶硅棒加工成单晶硅抛光硅片工艺流程单晶生长→切断→外径滚磨→端面磨削、抛光→切片、倒角→研磨、腐蚀抛光→清洗→包装1、切断:目的是切除单晶硅棒的头部、尾部及超出客户规格的部分,将单晶硅棒切成的长度。切断的设备:四方切割机、外径磨削:由于单晶硅棒的外径表面并不平整 单晶硅切片工艺流程 道客巴巴2021年11月29日  硅片加工滚磨开方 pptx,硅片加工滚磨开方;1、0 简介;滚磨与开方:经过直拉法生长出的硅锭子,外形是不规则的圆柱体,外侧估计有晶棱出现,头和尾部均有锥形端,因此在进行硅片切割之前,需要对硅锭进行整形与分割,使其达到硅片切割(切片)的尺寸要求。硅片加工滚磨开方 pptx 79页 原创力文档2022年8月17日  1.3 课题意义和目的 1.4 主要研究内容 第2章 定向基本原理以及磨削原理 2.1 滚磨设备简介 2.2 自动定向原理及方案论述 本课题旨在用于半导体行业且具有较高自动化、集成化、兼容性和精度的单晶硅棒滚磨 设备的自动定向功能的开发和 基于单晶硅棒滚磨一体机的晶体定向与磨削工艺研究2020年12月10日  无论是采用直拉法或是区熔法生长的硅单晶棒,一般是按<100 >或<111 >晶向生长的。通过滚磨加工,使其表面整形达到基本的直径和直径公差 科普 硅晶棒如何生产? OFweek电子工程网2025年4月2日  23 边缘磨削效率影响因素 倒角加工过程中,边缘磨削效率主要与硅片转速有关。图1为倒角磨削加工示意图 [4],倒角磨轮在高速旋转(例如WGM4200的倒角砂轮默认转速为4000 rpm),晶圆在倒角工作台上低速旋转,旋转一周或多周后,在磨削槽内完成边缘磨削,因此磨削速度的改善是200 mm晶圆产能提升的 改善200 mm晶圆边缘加工产能的工艺研究 汉斯出版社

  • 晶棒滚磨方法和晶棒滚磨装置与流程

    2024年11月27日  本发明涉及半导体,尤其涉及一种晶棒滚磨方法和晶棒滚磨装置。背景技术、在单晶硅晶圆的加工过程中,由直拉法生产的单晶硅棒为直径不规则的圆柱体,在切片前会先使用滚磨机滚磨至统一标准直径。、现有滚磨机加工是从头至尾或者从尾至头整棒位置进行滚磨,且滚磨的初始直径需按照晶棒的 2021年10月28日  章 硅晶体的滚磨与开方 10 11磨削加工知识 12滚磨开方设备及工作原理 13滚磨开方的加工过程14滚磨开方后的表面的处理10简介滚磨和开方的目的,及所用设备 硅片用途决定的加工工序单晶硅的工艺单晶光伏硅片的工艺 铸锭多晶硅晶体滚磨与开方 renrendoc硅晶体滚磨与开方百度文库 滚磨和开方的目的,及所用设备硅片用途决定的加工工序晶圆单晶硅的工艺单晶光伏硅片的工艺铸锭多晶的工艺页,共79页。滚磨和开方的目的滚磨与开方:经过直拉法生 一篇文章带你了解半导体硅晶片知乎硅单晶滚磨的目的意义2021年12月11日  硅为集成电路制造中最重要的半导体材料,超过 90%的集成电路芯片都是在硅片上制作而成的,所以本文以硅片制备为例,说一说晶圆的制备流程。硅单晶抛光片的制备工艺流程比较复杂,加工工序较多,每道工序必须严格控制加工质量,才能得到满足集成电路工艺技术要求,而且质量合格的硅单晶 晶圆的制备流程①截断直径滚磨丨半导体行业2018年10月11日  金刚石毛刷 第1章 内容要求—作业 简述硅单晶进行滚磨的目的和所用设备。 根据磨粒的固定方式,磨削加工分为哪两类。 简述磨削加工的特点。 简述滚磨机的四大运动方式。 开方设备的发展方向是什么。 线锯开方的主要特点。 简述滚磨开方 硅晶体滚磨与开方ppt 80页 VIP 原创力文档滚磨和开方的目的,及所用设备 硅片用途决定的加工工序 晶圆单晶硅的工艺 单晶光伏硅片的工艺 铸锭多晶的工艺 页,共79页。 滚磨和开方的目的 滚磨与开方:经过直拉法生长出的硅锭子, 外形是不规则的圆柱体,外侧可能有晶棱出 现,头和尾部 硅晶体滚磨与开方百度文库

  • 晶圆制备工艺与设备全面解析

    2025年2月7日  滚磨是将硅单晶棒的外径通过金刚石磨轮进行精细磨削,以获得所需直径的单晶棒料,并同时磨削出单晶棒的平边参考面或定位槽。 由于单晶炉制备的单晶棒外径表面并不完美,直径也超出最终应用的硅片直径,因此需要通过滚磨来达到所需的尺寸精度。单晶生长→切断→外径滚磨→平边或V型槽处理→切片 倒角→研磨腐蚀抛光→清洗→包装 切断:目的是切除单晶硅棒的头部、尾部及超出客户规格的部分,将单晶硅棒分段成切片设备可以处理的长度,切取试片测量单晶硅棒的电阻率含氧量。单晶硅棒加工成单晶硅抛光硅片工艺流程百度文库2021年8月24日  一颗单晶硅棒是怎么变成单晶硅片的?今天的中环小课堂就为大家介绍半导体硅研磨片的工艺流程。 一般而言,加工半导体硅研磨片要经过如下步骤:切断—滚磨—粘棒—线切—去胶—切片清洗—倒角—研磨—磨片清洗。 切断 将单晶硅棒切成段,通过单晶本身ρ(电阻率)高低不同分割成不同长度 一颗硅棒是怎么变成硅片的?加工2020年12月28日  外径磨削:由于单晶硅棒的外径表面并不平整且直径也比最终抛光晶片所规定的直径规格大,通过外径滚磨可以获得较为精确的直径。平边或V型槽处理:指定向基准平面加工,用单晶硅捧上的特定结晶方向平边或V型槽。单晶硅片的制造技术 知乎专栏